簡要描述:Keithley 4200A-SCS半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)使用 4200A-SCS 加快半導(dǎo)體設(shè)備、材料和工藝開發(fā)的探索、可靠性和故障分析研究。 高性能參數(shù)分析儀,提供同步電流-電壓 (I-V)、電容-電壓 (C-V) 和超快脈沖 I-V 測量。
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參數(shù)查看,快速清晰。
大膽發(fā)現(xiàn)從未如此容易。 4200A-SCS 參數(shù)分析儀可將檢定和測試設(shè)置的復(fù)雜程度降低高達(dá) 50%,提供清晰且不折不扣的測量和分析功能。 另外,嵌入式測量專業(yè)知識可提供測試指南并讓您對結(jié)果充滿信心。
特點
測量、 切換、 重復(fù)。
4200A-CVIV 多通道切換模塊自動在 I-V 和 C-V 測量之間切換,無需重新布線或抬起探頭端部。 與競爭產(chǎn)品不同,四通道 4200A-CVIV 顯示器提供本地可視查看,可快速完成測試設(shè)置,并在出現(xiàn)意想不到的結(jié)果時輕松排除故障。
特點
檢定、 自定義。
簡單地說,4200A-SCS 可以*自定義且全面升級,您可以對半導(dǎo)體設(shè)備、新材料、有源/無源組件、晶片級可靠性、故障分析、電化學(xué)或幾乎任何類型的樣本執(zhí)行電氣檢定和評估。
特點
帶分析探測器和低溫控制器的集成解決方案。
4200A-SCS 參數(shù)分析儀支持許多手動和半自動晶片探測器和低溫控制器,包括 Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低溫控制器。
特點
降低成本并保護(hù)您的投資
吉時利保障計劃以按需服務(wù)事件的一小部分成本提供快速、高質(zhì)量的服務(wù)。 只需點擊一下或一個電話即可獲得維修服務(wù),在此過程中,無需報價或填寫采購單,也不會有審批延誤。
型號 | 說明 |
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4200A-SCS-PK1 高分辨率 IV 套件 | 210V/100mA,0.1 fA 分辨率 對于兩端和三端設(shè)備,MOSFET、CMOS 檢定套件4200A-SCS-PK1 包括:
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4200A-SCS-PK2 高分辨率 IV 和 CV 套件 | 210V/100mA,0.1 fA 分辨率,1kHz - 10MHz 對于高 K 電解質(zhì),深亞微米 CMOS 檢定套件4200A-SCS-PK2 包括:
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4200A-SCS-PK3 高分辨率和高功率 IV 和 CV 套件 | 210V/1A,0.1 fA 分辨率,1kHz - 10MHz 對于功率設(shè)備、高 K 電解質(zhì),深亞微米 CMOS 設(shè)備檢定套件4200A-SCS-PK3 包括:
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4200-BTI-A 超快 NBTI/PBTI 套件 | 用于使用 CMOS 技術(shù)套件進(jìn)行復(fù)雜的 NBTI 和 PBTI 測量4200-BTI-A 包括:
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半導(dǎo)體可靠性
在執(zhí)行復(fù)雜的可靠性測試時,4200A-SCS 可以幫您處理復(fù)雜的編碼工作。 內(nèi)含熱載波注入劣化 (HCI) 等項目,使您能夠快速開始設(shè)備分析。
特點
提供適合高阻抗應(yīng)用的 C-V 測量功能
采用 Keithley 的自定義極低頻 C-V 技術(shù)分析高電阻樣本的電容。 該技術(shù)可通過僅使用源測量單元 (SMU) 儀器實現(xiàn)應(yīng)用,同時可與 4210-CVU 結(jié)合使用,執(zhí)行更高頻率測量。
特點
非易失內(nèi)存
通過全面脈沖 I-V 檢定在測試中利用新技術(shù)。 4200A-SCS 為 NVRAM 技術(shù)提供支持和即用型測試,從浮動門電路閃存到 ReRAM 和 FeRAM,不一而足。 電流和電壓雙源和測量功能同時支持瞬態(tài)和 I-V 域檢定。
VCSEL 測試
4200A-SCS 中的多個并行源測量單元 (SMU) 儀器可簡化激光二極管測試。 僅使用一臺機(jī)器連接即可生成 LIV(光強(qiáng)-電流-電壓)曲線。 高級探頭站和開關(guān)支持使您能夠使用相同的儀器對單個二極管或整個陣列進(jìn)行晶圓生產(chǎn)測試。 SMU 可配置為高達(dá) 21 W 容量,適用于多種連續(xù)波 (CW) VCSEL 應(yīng)用。
納米級設(shè)備檢定
4200A-SCS 的集成儀器功能可簡化碳納米管等納米級電子器件開發(fā)方面的測量要求。 從預(yù)配置測試項目開始著手,逐步擴(kuò)大您的研究工作范圍。 SMU 的脈沖源模式可幫助緩解過熱問題,數(shù)秒內(nèi)即可完成與低電壓 C-V 和超快速脈沖直流測量的組合。
材料電阻率
使用集成了 SMU 的 4200A-SCS,可通過四點同軸探頭或范德堡法輕松測量電阻率。內(nèi)含測試可自動重復(fù)執(zhí)行范德堡計算,節(jié)省您寶貴的研究時間。10aA 的大電流分辨率和大于 1016 歐姆的輸入阻抗可提供更準(zhǔn)確的結(jié)果。
MOSFET 檢定
4200A-SCS 可容納所有必要的儀器,用于通過組件或晶圓測試執(zhí)行全面的 MOS 設(shè)備檢定。 內(nèi)含測試和項目可以解決 MOSCap 的氧化物厚度、門限電壓、摻雜濃度、移動離子濃度等問題。 只需觸摸一個儀器盒中的按鈕,即可運(yùn)行所有這些測試。
Keithley 4200A-SCS半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)
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