簡要描述:RM1000反射膜厚儀反射膜厚儀RM 1000和RM 2000測量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用SENTECH FTPadv Expert軟件計算單層或?qū)盈B膜的厚度、消光系數(shù)和折射率指數(shù)。在紫外-可見光- 近紅外光譜范圍內(nèi),可以分析5nm~50μm厚度的單層膜、層疊膜和基片。
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RM1000反射膜厚儀
擴展折射率指數(shù)測量極限
我們的反射儀的特點是通過樣品的高度和傾斜調(diào)整進行準確的單光束反射率測量,光學布局的高光導允許對n和k進行重復測量,對粗糙表面進行測量以及對非常薄的薄膜進行厚度測量。
紫外-近紅外光譜范圍
RM 1000 430 nm – 930 nm
RM 2000 200 nm – 930 nm
高分辨率自動掃描
反射儀RM 1000和RM 2000可以選配x-y自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機。
RM1000反射膜厚儀
反射膜厚儀RM 1000和RM 2000測量具有光滑或粗糙表面的平坦或彎曲樣品的反射率。利用SENTECH FTPadv Expert軟件計算單層或?qū)盈B膜的厚度、消光系數(shù)和折射率指數(shù)。在紫外-可見光- 近紅外光譜范圍內(nèi),可以分析5nm~50μm厚度的單層膜、層疊膜和基片。
RM 1000和RM 2000代表SENTECH反射儀。臺式裝置包括高度穩(wěn)定的光源、具有自動準直透鏡和顯微鏡的反射光學部件、高度和傾斜可調(diào)的樣品臺、光譜光度計和電源。它可以選配x-y自動掃描臺和自動掃描軟件、用于小光斑尺寸的物鏡和攝像機。
除了膜厚和光學常數(shù)之外,我們的反射儀還可以測量薄膜(例如,AlGaN on GaN,SiGe on Si)、防反射涂層(例如,紋理硅太陽能電池上的防反射涂層、紫外敏感GaN器件上的防反射涂層),以及小型醫(yī)用支架上的防反射涂層。該反射儀支持在微電子、微系統(tǒng)技術(shù)、光電子、玻璃涂層、平板技術(shù)、生命科學、生物技術(shù)等領(lǐng)域的應用。
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