簡要描述:TruPlasma MF Serie7000中頻等離子體電源通過 TruPlasma MF 7000 (G2) 系列可以隨時掌控工藝流程:此款電源的電弧管理和點火特性具優(yōu)勢,是用于大面積鍍膜(Large Area Coating)以及雙磁控濺射中高要求反應(yīng)工藝流程的理想供電系統(tǒng)。與此同時,超過 90 % 的頂尖能量轉(zhuǎn)化率和極為高效的冷卻水管理系統(tǒng)確保*的運行經(jīng)濟性。
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TruPlasma MF Serie7000中頻等離子體電源:
的涂層質(zhì)量和生產(chǎn)效率
即使在極其嚴(yán)苛的反應(yīng)工藝流程中,仍能實現(xiàn)出色結(jié)果與高沉積速率。
*效率
憑借超過 90 % 的頂尖
能量轉(zhuǎn)化率,運行效率可超過 80 %。
適應(yīng)所有氣候的穩(wěn)定供電系統(tǒng)
即使在高冷卻水溫度和低壓差條件下,功能依舊可靠。
全球可用
電源電壓可變,因此無需技術(shù)適配。
TruPlasma MF Serie7000中頻等離子體電源:
通過 TruPlasma MF 7000 (G2) 系列可以隨時掌控工藝流程:此款電源的電弧管理和點火特性優(yōu)勢,是用于大面積鍍膜(Large Area Coating)以及雙磁控濺射中高要求反應(yīng)工藝流程的理想供電系統(tǒng)。與此同時,超過 90 % 的頂尖能量轉(zhuǎn)化率和極為高效的冷卻水管理系統(tǒng)確保*的運行經(jīng)濟性。
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