KOSAKA臺(tái)階儀ET10000薄膜測(cè)厚儀

簡(jiǎn)要描述：KOSAKA臺(tái)階儀ET10000薄膜測(cè)厚儀臺(tái)階儀對(duì)應(yīng)大面積樣品段差測(cè)定的全自動(dòng)機(jī)型。

● 機(jī)臺(tái)尺寸可根據(jù)樣品/工件尺寸訂制。

● 針對(duì)生產(chǎn)線全自動(dòng)大型工件開(kāi)發(fā)，可搭配機(jī)械手臂自動(dòng)進(jìn)退樣品。

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2024-01-29
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KOSAKA臺(tái)階儀ET10000薄膜測(cè)厚儀產(chǎn)品概述：

● 對(duì)應(yīng)大面積樣品段差測(cè)定的全自動(dòng)機(jī)型。

● 機(jī)臺(tái)尺寸可根據(jù)樣品/工件尺寸訂制。

● 針對(duì)生產(chǎn)線全自動(dòng)大型工件開(kāi)發(fā)，可搭配機(jī)械手臂自動(dòng)進(jìn)退樣品。

高精度．安定性．機(jī)能性適合于FPD基板·晶圓硬盤等的微細(xì)形狀、段差、粗度測(cè)定的機(jī)型。

● 是多機(jī)能的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)，針對(duì)用途及樣品尺寸有多種機(jī)型可供選擇。

● ET4000A/ ET4000AK一可實(shí)現(xiàn)2D/3D表面形狀測(cè)量。

● ET4000M一高性能的泛用微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。

● ET4000L一對(duì)應(yīng)大型工件的全自動(dòng)微細(xì)形狀測(cè)定機(jī)。

● ET4300一適合12"樣品測(cè)量。

臺(tái)階儀/膜厚儀ET4000系列產(chǎn)品參數(shù)

KOSAKA臺(tái)階儀ET10000薄膜測(cè)厚儀產(chǎn)品概述：

重現(xiàn)性	1σ 1nm
測(cè)定范圍	Z:100um
分解能	Z:0.1nm X:0.1um
測(cè)定力	0.5UN~500UN (0.05mg-50mg)

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